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米国の研究機関がチップ技術会社を告訴、日本政府はレジストリ買収を計画

米国の研究機関がチップ技術会社を告訴、日本政府はレジストリ買収を計画

ニューヨーク州立大学研究財団(SUNY RF)は、同財団が開発したフォトレジスト材料が商品化され、違法に特許を取得した疑いで、日本企業JSRの関連会社を提訴した。

苦情 [PDF] Inpriaは1月25日、SUNY RFとの共同研究プロジェクトの一環として開発された技術を使用し、ライセンスを取得していない先進的なフォトレジストを販売していると主張した。 JSRは2021年に5億1,400万ドル相当と言われる契約でInpriaを買収した。

問題をさらに複雑にしているのは、JSR自体が、進行中の開発を踏まえて半導体産業を活性化する地方自治体の動きの一環として、同国の商務省が監督する日本投資法人(JIC)による買収手続き中であることだ。 。 米国と中国の間のチップ戦争。

JSRとInpriaは、法廷での申し立てに対して自らを弁護するつもりだと述べた。

このケースの中心となるのは、極紫外線 (EUV) リソグラフィーで使用されるフォトレジスト材料です。 これらの材料は、シリコンのパターンエッチングの複雑なプロセスに不可欠であるため、より高度な半導体の製造中に不可欠であり、7nmから2nmまでのプロセスノードを可能にし、現在はさらに高精度のプロセスが開発されています。

したがって、チップの需要が高く、フォトレジストをベースにしたより高度な製造プロセスへの移行により、フォトレジスト技術を誰が所有するかは大きな関心を集めています。

このケースの中心となるのは、極紫外線 (EUV) リソグラフィーで使用されるフォトレジスト材料です。 これは、より高度な半導体製造に使用され、7nm プロセス ノードから 2nm まで、および現在開発中のより小さなプロセスを可能にします。

SUNY RF は、この分野の重要な研究が、SUNY ナノテクノロジー科学工学部 (CNSE) ナノサイエンス工学部の教授であるロバート ブレイナード博士によって行われたことを確認しています。

裁判所への提出文書によると、ブレイナード博士は2011年にCNSEで、当時入手可能だったフォトレジストの代わりに「これまで未開発の有機金属化合物」(金属酸化物フォトレジスト、特に酸化スズフォトレジストとも呼ばれる)を設計・合成するプロジェクトを開始したと述べている。 オーガニック素材を使用。

SUNY RFによると、Inpriaは2012年にUVリソグラフィーレジストで協力するため、半導体業界のイノベーションを促進するために設立されたCNSEのSEMATECHコンソーシアムに参加したという。

彼女によると、2014年にインプリアはCNSEとのパートナーシップをさらに一歩進め、有機金属フォトレジスト材料に関してSUNY RFと2年間の研究契約を結び、ブレイナード博士が「主任研究者」としてプロジェクトを監督することになったという。 この研究の完了後、インプリアはブレイナード博士とその研究者をさらに 2 年間の任期で任命し、その後 2019 年 8 月 31 日まで延長されました。

SUNY RFは、これらの研究プロジェクトに関して、ブレイナード博士が実施した以前の研究開発から生じた知的財産に対する限定的ライセンスをインプリアに与えることに同意したと主張している。 同団体は、SUNY RFがインプリアに知的財産の商業化や何らかの形での利益を含むその他の方法で知的財産を使用するライセンスを与えていないことが契約によって明らかになったと主張している。

SUNY RFによると、この合意では、研究の過程で生成された知的財産はSUNY RFが独占的に所有し、両組織がいずれかの当事者が独占的に発案していない知的財産の所有権を共同で所有することが規定されていたという。

この契約では、Inpria に自社が発明した技術に対する独占的でロイヤリティフリーのライセンスを取得するオプションが与えられていたが、Inpria はそれらのオプションを決して行使しなかったと主張している。

訴状によると、SUNY RFは、Inpriaがチップ製造装置に携わる別の企業であるLam Research Corporationに対して独自の特許侵害訴訟を起こした際に、Inpriaに疑いを抱いたようだ。

SUNY RFによると、本件で問題となっている特許で使用されている技術はブレイナード博士の以前の研究に基づいており、インプリアは研究以外の目的で使用しないことに同意したという。 インプリア社はブレイナード博士が開発したタイプの「錫ベースの有機金属配合物」を商業的に利用していることを認めたと主張している。

訴状では、インプリア社が研究契約に違反してライセンスを取得せずにSUNY RFの知的財産を商業的に使用し、特許にブレイナード博士とその同僚を当該技術の発明者または共同発明者として記載していなかった、と主張している。現在は Inpria にのみ割り当てられています。

JSRはサイト上でSUNY RFが起こした訴訟に言及する声明を発表し、Inpriaに付与された25件の特許の共同発明者として記載されるべきだと主張した。

「Inpriaは、20年前に遡る金属酸化物の学術研究に深く根ざした元大学機関です。問題の特許は、2021年のJSRによるInpriaの完全買収前に申請された特許ファミリーに属しています。これまでに実施された内部調査は声明に記載されています」 : 「Inpria または JSR の関与に関連する不適切な活動は発見されませんでした。」

「JSRとインプリアは今後の訴訟手続きにおいて、SUNYの理由のない請求や訴訟から当社の事業、知的財産、従業員を守り続けます。」

によると ロイターJSRは、この訴訟がJICによる同社の買収に影響を与えることはないとの見通しを示した。買収額は9,093億円(64億ドル)相当と発表されていた。

SUNY RFは、この事件を陪審が審理することを要求している。 裁判が有利に進んだ場合、SUNY RFは関連する特許記録を修正し、ライセンスなしで特許を使用したことに対するInpriaに対する差し止め命令と、Inpriaによる自社技術の商業化疑惑から生じた補償金とすべての利益の賠償を求めている。 ®

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